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针对高/低温制程,Busch 普旭最新的真空解决方案来了!

  【康沃真空网】6月 27 – 29 日, Busch在参加半导体及平板显示行业的首展——SEMICON/FPD China 2020 时展示了全新适用于高温制程工艺的真空解决方案。

针对高/低温制程,Busch 普旭最新的真空解决方案来了!

  Busch 普旭 2020 年全新推出的的 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空适用于气体温度超过 250℃ 的严苛工艺。

  高性能:先进的螺杆设计、卓越的运行品质、集成的罗茨泵,完美适用于太阳能、平板和半导体应用,以及需要高温气体的严苛工艺,如刻蚀和化学气相沉积,极佳的粉末处理能力配合 tantal 涂层的螺杆使其更适用于众多严苛应用;

  高效:成本低、维护工作量少、保养周期及正常运行时间长、抽氢能力强、能耗低、可变温控制;

  结构紧凑:一体化设计,罐式电机、前级泵和罗茨泵直接安装在紧凑的基架上,振动值低,同时,对于极具挑战性工艺中的低温制程,Busch 普旭全新的 COBRA BC 1200 A 干式螺杆真空泵也可以在气体温度低于 80℃ 的工艺中游刃有余。

  高效:成本效益高、正常运行时间长、节能。

  维护简易:先进的螺杆设计,采用无油和无接触技术,维护间隔长,

  静音:噪音等级<62 dB(A)

针对高/低温制程,Busch 普旭最新的真空解决方案来了!

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