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疫情后的第一场半导体展会,真空解决方案闪亮登场

  【康沃真空网】6月27-29日,阿特拉斯·科普柯真空技术业务领域亮相全球领先的半导体制造技术盛会FPD China 2020,这也是今年继疫情之后参加的第一场展会。现场展示了GHS VSD+系列油润滑螺杆真空、DZS VSD+干式爪泵以及LRP VSD+液环泵

  展品速递

疫情后的第一场半导体展会,真空解决方案闪亮登场


  GHS VSD+

  GHS VSD+ 系列是新一代智能油润滑螺杆真空泵与阿特拉斯·科普柯变频技术的高效结合。

  ● 即插即用,坚固耐用

  ● 精确匹配您的运行压力,提供峰值性能

  ● 覆盖了抽速400至5004m3/h,极限真空度达0.35mbar(a)

  GHS VSD+ 系列是多个应用的理想选择,广泛应用于半导体芯片厂和面板厂的中央PV真空系统。

疫情后的第一场半导体展会,真空解决方案闪亮登场

  DZS VSD+

  ● 更长的使用寿命,更低的维护成本,更低的能耗,并且拥有很强的耐腐蚀性和抗尘能力

  ● 提供抽速24至394m3/h的多款型号,极限真空度可达50mbar(a)

  ● 通过Class 0零级无油认证,提供洁净的真空环境

  该系列配备了阿特拉斯·科普柯自主研发的变频系统,相对于其他同类定频产品DZS系列将有效节能50%以上,并可广泛运用于气动输送,夹持,包装,真空塑形,污水处理,中央气体液体输送系统,印刷,医疗系统,奶制品行业等等不同市场领域。

疫情后的第一场半导体展会,真空解决方案闪亮登场

  LPR VSD+


  ● 全新的一体化设计,即插即用,配备隔音和IP54防护等级外壳

  ● 干/湿分离设计,保护电子元器件的使用寿命

  ● 融合双VSD变频驱动的液环泵,确保设备始终处于优异的性能状态

  独特的LRPVSD+液环泵能够提供高性能和连接性。作为一款先进的真空解决方案,其不但能够提供无与伦比的能源效率,还能够以较低的成本保持运行,并且维护成本低。

标签: 真空解决方案  

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