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安捷伦科技发布吸气剂复合型离子泵

  【康沃真空网】近日,安捷伦科技发布了全新的CombiNEG 吸气剂复合型离子。该泵大大增强了超高真空时离子泵的抽气能力,为超高真空、极高真空系统的设计提供了新的选择。

安捷伦科技发布吸气剂复合型离子泵

  CombiNEG系列采用安捷伦科技(Agilent Technologies)独特的StarCell离子泵抽气单元和赛斯 (Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂(NEG)。安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵的发明者,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自最尖端的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。

安捷伦科技发布吸气剂复合型离子泵

  StarCell 的专利设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵,该泵可以以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术(NEG)是SAES集团于上世纪七十年代开发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速,其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用,以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。

  CombiNEG系列最大可复合2000L/s的吸气剂泵,其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气,可靠性高,所需电流极小,对环境磁场的影响也很小,并且无油无振动,非常适合粒子加速器、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计,使其结构很紧凑,安装使用也更简单。

标签: 安捷伦科技  

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