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【真空知识】图解各种真空计工作原理
标签: 真空计
2022-09-19  阅读

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  【康沃真空网真空计(Vacuum Gauge),又称规,是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

  1、波尔登规(Bourdon)

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  2、薄膜电容规

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  3、皮拉尼规

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  4、热电偶规

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  5、热阴极电离规

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  6、冷阴极电离规

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