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注意!罗茨泵在真空工艺应用中常发故障解析
标签: 罗茨泵
2023-01-12  阅读

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  【康沃真空网】许多真空工艺装置中,在前级的基础上都配备罗茨泵(图1),一是可以提高抽速,二是改善真空。然而,罗茨泵在运行过程中经常遇到下列问题:

  注意!罗茨泵在真空工艺应用中常发故障解析


  罗茨泵在启动时由于电机过载而跳闸 

  国内罗茨泵的最大允许压差一般都规定在5000Pa,其电机容量亦是根据最大允许压差来设定。

  例如:罗茨泵与前级泵抽速之比为8:1,如果罗茨泵在2000Pa下启动,罗茨泵压差为8×2000Pa-2000Pa=14000Pa>5000Pa。

  于是就超过它的最大允许压差,所以要根据罗茨泵与前级泵的配比来确定罗茨泵的最大启动压力。

  注意!罗茨泵在真空工艺应用中常发故障解析

  在运行过程中过热,甚至转子被卡死 

  造成罗茨泵过热有两个原因:

  一是入口气体温度过高,因为被抽气体通过罗茨泵后,温度会进一步升高,如果泵体长时间在超过80℃下运行,会产生一系列故障,甚至造成转子因热膨胀而卡死,建议当入口气体温度超过50℃时,在罗茨泵上游增设热交换器。

  二是罗茨泵排气侧的压力过高,特别是当前级泵为液环泵时,如果液环泵的密封液被工艺气体污染,产生高的蒸汽压,则罗茨泵长时间在高压差运行,就会导致过热。

    前级泵的液体倒流到罗茨泵的泵腔内 

  这种现象在罗茨水环机组中常有发生。因为在停水环泵时,虽然罗茨泵己经停止运转,但罗茨泵仍处于真空状态,水环泵的水就会返流到罗茨泵的泵腔内,甚至通过迷宫密封进入油箱,使油乳化,轴承损坏。

  因此,在停水环泵前,必须从水环泵的入口充入大气,而且充气时间必须在水环泵停止运转以后继续维持30秒。