真空网欢迎您!
真空测量装置领域中国主导制定ISO标准发布实施!
标签: 真空测量
2022-08-12  阅读

微信扫一扫分享

QQ扫一扫分享

微博扫一扫分享

  【康沃真空网】2022年8月5日,真空技术行业中国主导制定的ISO 24477:2022正式发布实施,是我国真空技术行业在真空测量装置领域首项主导制定的ISO标准。

  该标准由我国兰州空间技术物理研究所牵头,东北大学、兰州文理学院、沈阳真空技术研究所有限公司、北京卫星环境工程研究所、中国计量科学研究院亦参与完成了标准的制定工作。

真空测量装置领域中国主导制定ISO标准发布实施!

  标准范围

  该标准定义了磁悬浮转子真空计的相关术语,规定了在应用过程中需要给定的参数和详细的校准步骤,以及需要考虑的不确定度分量。

  在校准磁悬浮转子真空计或将其用作标准真空计时,该标准是对ISO 3567《真空计 与标准真空计直接比较校准》和ISO 27893《真空技术 真空计 与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定》的进一步补充。

  目的和意义

  在全球认可和非认可的校准服务中,磁悬浮转子真空计被广泛用作标准真空计。

  因为ISO 3567和 ISO 27893未能全部覆盖磁悬浮转子真空计的校准过程及其作为标准真空计时的使用要求,所以制定本标准以规范如何正确校准磁悬浮转子真空计,以及如何用作标准真空计。

  这对于在所有应用领域进行的真空工艺过程,尤其是对于半导体工业、光伏、镀膜工业、航空航天、核工业等高真空应用领域,能够实现真空量值溯源具有举足轻重的意义。

  该标准的发布实施,可为磁悬浮转子真空计生产企业、半导体工业等应用领域的生产企业、全球真空领域认可校准实验室和拥有二级传递标准的国家计量院提供了技术支撑和参照标准。