真空技术行业发布实施国家标准

1

GB/T 3163

-2007

真空技术  术语

2

GB/T 3164

-2007

真空技术  图形符号

3

GB/T 4982

-2003

真空技术  快卸连接器  尺寸  第1部分：夹紧型

4

GB/T 4983

-2003

真空技术  快卸连接器  尺寸  第2部分：拧紧型

5

GB/T 6070

-2007

真空技术  法兰尺寸

6

GB/T 6071

-2003

超高真空法兰

7

GB/T 7774

-2007

真空技术  涡轮分子泵性能参数的测量

8

GB/T 11164

-2011

真空镀膜设备通用技术条件

9

GB/T 16709.1

-2010

真空技术  管路配件的装配尺寸  第1部分：无刀口法兰型

10

GB/T 16709.2

-2010

真空技术  管路配件的装配尺寸  第2部分：刀口法兰型

11

GB/T 18193

-2000

真空技术  质谱检漏仪校准

12

GB/T 19955.1

-2005

蒸汽流真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率（抽速）的测量

13

GB/T 19955.2

-2005

蒸汽流真空泵性能测量方法 第2部分：临界前级压力的测量

14

GB/T 19956.1

-2005

容积真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率（抽速）的测量

15

GB/T 19956.2

-2005

容积真空泵性能测量方法 第2部分：极限压力的测量

16

GB/T 21271

-2007

真空技术 真空泵噪声测量

17

GB/T 21272

-2007

蒸汽流真空泵性能测量方法 泵液返流率和加热时间的测量

18

GB/T 22360

-2008

真空泵  安全要求

19

GB/T 25752

-2010

差压式气密检漏仪

20

GB/T 25753.1

-2010

真空技术  罗茨真空泵  第1部分：最大允许压差的测量

21

GB/T 25753.2

-2010

真空技术  罗茨真空泵  第2部分：零流量压缩比的测量

22

GB/T 25753.3

-2011

真空技术  罗茨真空泵  第3部分：溢流阀压差的测量

23

GB/T 25753.4

-2015

真空技术  罗茨真空泵  第4部分：噪声的测量

24

GB/T 25754

-2010

真空技术  直角阀  尺寸和气动装置的接口

25

GB/T 25755

-2010

真空技术  溅射离子泵  性能测量方法

26

GB/Z 25756

-2010

真空技术  可烘烤法兰  第2部分：刀口法兰尺寸

27

GB/T 28786

-2012

真空技术  真空镀膜层结合强度测量方法  胶带粘贴法

28

GB/T 32218

-2015

真空技术 真空系统漏率测试方法

29

GB/T 32221

-2015

真空技术 航天器用真空热环境模拟试验设备 通用技术条件

30

GB/T 32292

-2015

真空技术 磁流体动密封件 通用技术条件

31

GB/T 32293

-2015

真空技术 真空设备的检漏方法选择

32

GB/T 33633

-2017

真空技术 容积真空泵 水蒸气容限的测量

33

GB/T 33638

-2017

真空技术 涡轮分子泵  急停止扭矩的测量

34

GB/T 34873

-2017

真空计  与标准真空计直接比较校准

35

GB/T 34876

-2017

真空技术  真空计  与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定

36

GB/T 34878

-2017

真空技术  阀门  漏率测试

37

GB/T 35049

-2018

真空技术  四极质谱检漏方法

38

GB/T 36176

-2018

真空技术  氦质谱真空检漏方法