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沉痛哀悼丨中国真空科学二次离子质谱学开拓者查良镇教授去世
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2022-12-29  阅读

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  【康沃真空网】我们沉痛地公告:中国二次离子质谱学开拓者、清华大学查良镇教授于2022年12月24日凌晨在北京清华长庚医院因病不幸去世,享年85岁。

  沉痛哀悼丨中国真空科学二次离子质谱学开拓者查良镇教授去世

      查良镇:清华大学电子工程系教授,博士生导师、政府津贴获得者,《真空》杂志编委会副主任。查良镇教授从事真空科学、质谱学研究超过六十年, 取得过多项科研成果。近四十年来,主要致力于二次离子质谱学研究与人才培养,大力推动二次离子质谱(SIMS)技术在中国的应用,是中国二次离子质谱学术会议的创办者。查良镇教授还积极推进与国际二次离子质谱学领域的深入交流,是国际标准化组织二次离子质谱标准制定的开拓者。

  查良镇教授生于1937年,1954年如愿考入清华大学无线电工程系,也成为第二届电真空技术专业(管91班)的学生。1958年,查良镇教授提前留校任教。

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  ▲ 查良镇教授参加校摩托车队训练照

  1961年开始,查良镇、申功运带领学生薛祖庆、戴平湖等,与沈阳教学仪器厂工程技术人员合作研制氦质谱探漏仪,即利用磁质谱分析的方法探测真空系统的微小漏孔,这种方法的检测灵敏度是当时最高的,是电子、航天、核技术等领域必不可少的工具。1963年11月研制成功生产样机,命名为“6104型质谱探漏仪”。1964年2月,“6104型质谱探漏仪”通过了教育部鉴定,其主要技术指标完全满足设计要求,灵敏度达到了单极磁偏转型质谱探漏仪的国际先进水平。1964年6月16日,国家计划委员会、国家经济委员会和国家科学技术委员会对1400多项全国工业新产品授奖,“6104型质谱探漏仪”获得一等奖。1964年8月6日,研究成果载入国家科学技术委员会发布的发明记录。1965年5月,国家科学技术委员会出版了6104型质谱探漏仪的科研报告。

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  ▲ 1964年,查良镇教授负责设计的质谱探漏仪获国家工业新产品一等奖

  同期,查良镇、薛祖庆、申功运等人与北京分析仪器厂合作研制成功ZhL-01型四极质谱计,采用白金丝的玻璃型标准漏孔校准。1964年,仪器研制成功,并参加全国仪器展览会,成为世界最小的分压强质谱仪。

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  ▲ ZhL-01型四极质谱计

  80年代初,国际真空领域中质谱已由原先的真空检漏发展为表面分析技术,查良镇教授率领真空教研组与沈阳教学仪器厂合作,研制四极杆二次离子质谱仪(Q-SIMS),并于1986年通过教育部组织的鉴定。

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  ▲ 1998年查良镇教授陪同外宾参观清华大学

  2011年,国家重大科研仪器设备研制专项启动,研制地质科学领域专用的飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS),探测单粒宇宙尘中宇宙成因核的丰度特征,旨在突破宇宙尘探测领域。TOF-SIMS是具有广泛探测性、高分辨率、极灵敏的表面分析技术,可精确测定样品表面元素的构成,应用十分广泛。已经退休的查良镇教授受邀参加其中,这一项目成为近十年他所承担的最重要工作。

  作为国际标准化组织(ISO)二次离子质谱专业委员会的专家,鉴于目前国际上普遍在使用的质量分辨定义存在的不足,查良镇教授在2012年ISO二次离子质谱委员会上提议,重新定义质量分辨,并修改相关术语。这一提议得到国际标准化委员会(ISO)TC201的认可,并在2013年受国际标准化委员会(ISO)TC201的委托,组织中国专家团队进行立项研究。通过查良镇及其领导的专家团队的努力和出色的工作,2017年国际标准化委员会(ISO)TC201对该项目正式立项,制定国际标准:Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for measurement of mass resolution(表面化学分析——二次离子质谱——质量分辨的测定方法)。

  查良镇教授荣获的三项终身成就奖:

  •    2005年全球华人二次离子质谱学及相关领域研讨会在台湾新竹成功举行,他获得“全球华人二次离子质谱终身成就奖”

  •   2018年10月8-12日,第七届中国二次离子质谱学术会议在苏州举行,他被授予“中国二次离子质谱终身成就奖”

  •   荣获“中国真空学会终身成就奖”

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▲ 查良镇教授荣获的终身成就奖项

  在真空及质谱科技领域,查良镇教授贡献了一生。1979年10月,中国真空学会成立,并在兰州召开第一届全国会员代表大会。中国真空学会名誉理事孟昭英院士在查良镇教授的陪同下参会。1981年,查良镇教授发起成立中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会,并担任多届主席,参加了这期间的所有真空检漏工作。

  查良镇教授热爱祖国,提携后学,艰苦朴素,乐于助人,把毕生精力献给了国家和科学的伟大事业。作为科研人员,他始终正确把握政治方向,促使自己的人生方向与国家需要紧密结合;作为导师,他为国家培养了众多优秀人才,大大促进了我国真空事业的发展;作为学者,他勤奋创新,专注于真空与质谱领域的科教工作。查良镇教授为真空科学事业奋斗终生的精神值得每一位教育和科研工作者学习践行并传承发扬。

  按照查良镇教授的临终遗愿,其家人已将遗体捐献,丧事一切从简。查良镇教授的去世使我们失去了一位尊敬的老师和学者,我们永远怀念他!

  斯人已去,音容宛在。查良镇教授一路走好!