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南京天光所研制3.2米箱式真空镀膜机

  【康沃真空网】中国科学院南京天文光学技术研究所委托研制的3.2米箱式真空镀膜机通过出厂验收。

  近年来,南京天光所镀膜团队开展了提高膜系光谱反射率、膜系环境适应性和膜系用途多样性等方面的研究,掌握多项关键技术,例如,紫外增强型宽谱段高反射膜系制备、碳化硅材料基底表面改性层制备、极寒环境大口径镜面防霜膜系制备、高精度天文滤光膜系制备等,并应用于多个在研项目,取得了良好效果。2021年初,基于国内大型天文观测设备发展需求,南京天光所正式启动研制3.2米箱式真空镀膜机。

南京天光所研制3.2米箱式真空镀膜机

  3.2米箱式真空镀膜机最大可为直径2.6米的大型光学镜片提供各类光学膜系制备,包括金属反射膜、增强型金属反射膜、多层介质膜以及碳化硅反射镜改性层,是目前华东地区口径最大的多功能镀膜设备。由于针对大型光学镜面的镀膜工艺需求采用了多项新技术、新结构,膜系质量有保障,安全措施也得到加强。该设备将成为南京天光所研制大口径高精度光学薄膜的又一利器。


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