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打破国外技术壁垒,我国真空蒸镀机取得关键突破!

  【康沃真空网】我国目前已成为了OLED面板生产大国,占据全球近一半的市场份额。但我国在OLED生产设备真空蒸镀机技术发展上一直较为落后,不得不受制于日韩。值得欣慰的是我国一直在关键装备国产化的道路上不断努力,功夫不负有心人,我国最近在真空蒸镀机关键技术上已取得重大突破,摆脱国外技术依赖指日可待!

打破国外技术壁垒,我国真空蒸镀机取得关键突破!

  真空蒸镀机,OLED面板制程的“心脏”。对于我们来说,真空镀膜机可能比较陌生,甚至比光刻机还要陌生,但目前我们所使用的移动设备的屏幕,几乎都是由它制造出来的。以手机为例,目前手机屏幕大部分都为AMOLED,但由于蒸镀机设备费用昂贵,所以在手机的成本当中,芯片并不是最贵的,最贵的是屏幕。当我们的手机屏幕摔坏时,换屏幕的费用相信大家是深有体会的。

  真空蒸镀机原理

  真空蒸镀机的原理就如字面上的意思一样,为真空镀膜。意思就是在真空中通过电流加热、电子束轰击加热和激光加热等方法,蒸发镀膜材料并使之气化,再使气化后的分子碰撞基片表面而凝结,最后形成薄膜的过程。

打破国外技术壁垒,我国真空蒸镀机取得关键突破!

  而我国在这之前并没有真空蒸镀机,主要向日韩方面采购,而世界上性能最优的生产厂家为CANON TOKKI公司。该公司的真空蒸镀机性能有多优秀呢?它能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在5微米内(1微米相当于头发直径的1%),目前世界上没有其他公司的蒸镀机能达到这个精准度。当然价格也是天价,一台设备超过1亿美元,基本上和光刻机的价格持平了。关键是有钱还不一定能买到,该公司一年量产不到10台,大部分还主要供给三星,而我国京东方当年花费大力气买到一台TOKKI的设备才奠定了其在我国OLED生产领域的地位。

  所以拥有了高性能的真空蒸镀机才算是拥有OLED面板生产领域的入场券。但真空蒸镀机也并不是那么好造的。

  真空蒸镀机可以说是一个庞然大物,其真空生产线有100米长,需要将屏幕面板在厂区间频繁移动,所以说设备的可靠性和精度是重中之重。而OLED屏良品率的关键也在于蒸镀设备的准确度。所以说这么大型的设备还要控制到5微米的精度,其制造难度可想而知。

  TOKKI公司产品

  即使这样,我国企业也不畏艰难,成功突破了国外技术壁垒,研发出了自己的国产真空镀膜机。

  去年10月份我国首条OLED蒸镀量产线成功点亮,这是国内首条自主设计的OLED照明G2.5代量产线,并成功点亮多种颜色的OLED照明面板,该量产线的成功是国产OLED装备关键技术的重大突破。

  除了这些还有合肥的两个厂家已宣布成功研发真空蒸镀机,打破国外高端蒸镀机的垄断,研制出了性价比高的OLED真空蒸镀机,目前已经接到了国内面板企业的订单,预计今年下半年就可以下线出货。国有企业方面也成功研发出了真空蒸镀机,中山凯旋真空科技的设备搭载精密对位系统,对位精度甚至可达到1um,该设备的精密等级在行业内都算非常先进的,基本可以和日韩同类机型相媲美。

  从企业密集宣布真空镀膜机技术的突破,我们看到了国内该技术的蓬勃发展,虽然国产设备在精度和成熟度方面还不如日本企业,但目前我国已经取得了从无到有的重大突破,相信随着我国OLED的发展,我国的真空蒸镀机将会越来越先进和成熟,同时也期待我国生产的真空蒸镀机未来能走向世界!

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