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一个完整的真空系统的组成

真空应用设备种类繁多,但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统,以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说:一个真空处理用的容器,用管道和阀门将它与真空连接起来,当真空泵对容器进行抽空时,容器上要有真空测量装置,这就构成了一个z*简单的真空抽气系统(如图1)。

一个完整的真空系统的组成

图1所示的z*简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度,当需要获得高真空范围内的真空度时,通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板(如图2所示)。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。

一个完整的真空系统的组成

凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统,通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵),而z*高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵,即它是z*主要的泵,被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路,主泵入口处的阀门称为主阀。

通常前级泵又兼作予真空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路,该管路上的阀门称为予真空管道阀。主泵出口到前级泵入口之间的管路称为前级管道,该管路上的阀门称为前级管道阀,而软连接管道是为了隔离前级泵的振动而设置的。

总起来说,一个较完善的真空系统由下列元件组成:

1.抽气设备:例如各种真空泵;

2.真空阀门;

3.连接管道;

4.真空测量装置:例如真空压力表、各种规管;

5.其它元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。

那么,究竟什么是真空系统?用一句话来概括,就是:用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。

真空系统设计的基本内容:是根据被抽容器对真空度的要求,选择适当的真空系统设计方案,进行选、配泵计算;确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等,进行合理配置,z*后划出真空系统装配图和零部件图。

标签: 真空系统  

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