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扩散真空泵经常返油是怎么回事 2018-01-09 14:33:56      http://www.comvac.cn/       
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的油。最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干净是最关键的,如果室内还有油的存在,就会出现镀白膜,膜层质量很不好等现象,并不是因为电镀设备的损坏,而是因为真空室有油。

扩散泵经常返油可能是以下问题:

1、冷却水路不通畅或水压不够,导致冷却能力下降,扩散泵上半部分变热,油蒸汽不能良好液化。解决办法将扩散泵进水管接以4mpa的气源,吹出水垢,接出水管同样以4mpa吹。若水垢结的很多并且牢固,可通入稀盐酸。或者更换扩散泵。

2、加热温度过高,由于扩散泵加热器功率与额定功率不符,过高,造成蒸汽量大,可造成返油,更换电炉丝可解决。

3、加油量过高,加油量高容易导致蒸汽量循环缓慢,向下级压缩时滞留,造成返油,根据厂家提供信息进行加油量的控制可避免。

4、油氧化,扩散泵油氧化后,粘稠度和蒸汽流都受到影响,达不到喷射速度,自然就返到真空室内。可讲扩散泵拆下,将泵心取出,用120#汽油进行清洗,然后打磨,将结碳和黑色氧化层打磨掉,再次用120#汽油清洗、晾干,然后安装,倒入扩散泵油或硅油,加热几次以后才可以投入工作。防止污染工件。

5、若扩散泵服役时间超过8-10年,或在恶劣的环境下使用,可考虑更换。提高工作效率及维护成本。

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