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超高真空镀膜机表面处理的重要性

  【康沃真空网】超高真空镀膜机的清洗处理是非常重要的,镀膜机的清洗处理是否到位,将直接影响到极限真空环境的获得。使用良好的清洁处理工艺比之一般的清洗处理工艺,其设备材料的出气率要低了几个数量级。

  比如说不锈钢材料的真空设备,它长期不断在大气中暴露,不进行任何清洗、去油处理、烘烤处理的话,其在抽气一小时后约为2x10[Pa·m/(s·m)]的出气率;若做了去油处理,不做烘烤处理,其在抽气四小时后可到1 x 10[Pa·m(s· m)]的出气率;如果去油后,再做清洗,又在250C的温度之下烘烤十五个小时的话,即可降到1 X 10[Pa·m/(s·m)]的出气率,可以发现,其出气率下降了近五个数量级之多。

  通常需要做烘烤处理,对超高真空环境的获得来说,真空烘烤是不可缺少的工艺。一套合格的真空设备的设计,若少了烘烤措施,也没有其它相关措施的处理的话,那么不管配置任何类型的真空(如扩散泵低温泵、溅射离子泵、涡轮分子泵等)做抽气处理,最终获得的工作压力也就大概在10Pa-10Pa这个数量级之间,顶多可达极限真空10Pa的量级,想要再高的真空度那就是天方夜谭。

  针对于不锈钢,加速出气的方法有两种是最有效的:

  1、在400C温度下的空气中烘烤;

  2、在800C-950C下的真空环境烘烤。

  烘烤处理工艺需要在2700Pa压力下的纯氧环境中进行,才能减少烘烤过程中存在水蒸气影响到材料表面的可能,此外,还需明确真空烘烤应在10Pa下进行,才能让材料中的氢浓度降低到我们需要得到的最低限度。

标签: 超高真空镀膜  

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