当前位置: 康沃真空网  > 行业应用 > 真空镀膜 > 正文

真空镀膜机的正确操作步骤和故障处理方法

  一、电控柜的操作

  【康沃真空网】1、玻璃真空镀膜机开水、气源
  2、开总电源
  3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
  4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
  5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。

  二、DEF-6B电子枪电源柜的操作
  1、总电源
  2、真空镀膜设备同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:汽车玻璃镀膜按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
  3、开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。
  三、关机顺序
  1、关高真空表头、关分子泵。
  2、待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
  3、到50以下时,再关维持泵。  

  镀膜机常见故障及处理方法

  检测不到掩膜夹具翻转信号:
  1、检查翻面信号源位置
  2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。

  掩膜夹具翻转不稳定:
  1、检查翻板的初始位置是否符合时机
  2、检测翻面控制开关工作是否稳定,可用指针万用表跟踪监测。
  3、检查翻转机构动作是否灵活可靠
  4、检查翻面信号次数设置
  5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象
  6、检测旋转工作台在转动时的稳定性

  在同一掩膜夹具频率散差大:
  1. 检查晶片本身是否散差大
  2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板
  3.检查一下挡板在开、关时是否完全遮挡住钼舟
  4.检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟
  5、检查钼舟使用是否符合要求,要采用圆形钼舟

  锅与锅之间频率散差大:
  1、观察一下监控片是否存在跳频现象
  2、反复测量统一监控片观察振荡器的稳定性(不超过75Hz)
  3、检查冷却水是否通畅
  4、检查钼舟使用是否符合要求,要采用圆形钼舟
  5、监控片选用是否符合要求,建议采用我公司的监控片

  镀膜频率不停止:
  1、检查频率参数设置是否正确
  2、钼舟电流表是否有指示
  3、钼舟中是否有银
  4、监控片是否跳频
  5、修正系数是否错误
  6、在出现非正常退后是否更换过监控片

  测试不到频率:
  1、更换一下监控片
  2、检查一下测试弹片是否变形
  3、用一只5MHZ的晶体直接插入振荡器输入端测量频率,若有频率证明是探头问题,若无频率,用计数器测量一下振荡器输出频率是否异常,无正常输出证明振荡器有问题,有正常输出但计算机无显示证明控制卡有问题

  控制阀均不动作:
  1. 检查5V电源是否有输出,是否接好
  2. 检查固态继电器板上电源公共端是否有电
  控制阀个别不动作
  1、检查相应的固态继电器是否有输出

  未达到真空度就工作:
  1、数字真空计出现不正常数字,且30秒内无变化,例如0.00-4(国产真空计常见)现象
  2、指针表在真空计打开30秒后,黑色指针仍不摆动
  监控片使用原则
  1、监控片表面要清洗干净
  2、监控片要随用随镀,空气中暴露12小时以上禁止使用
  3、监控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用
  4、使用过程中要记录好使用批次,严禁出现新旧混用
  5、监控片反复使用寿命为3次。

标签: 真空镀膜  

温馨提示:
如果您喜欢本文,请点击右侧分享给朋友或者同事。

网友评论

条评论

最新评论

关注排行