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什么是真空镀膜设备的虚漏及漏孔? 2018-07-11 13:48:18      http://www.comvac.cn/       
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一、虚漏:

虚漏是由于设计或制造加工工艺不当,在真空镀膜设备内形成贮存气源的洞穴,这些气体在真空环境下慢慢释放出来,形同漏气,简称虚漏。

例如,真空镀膜设备内的紧固螺钉没有出气孔,焊缝交叉设计,焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象。
 
二、漏孔:

漏孔是真空镀膜设备内的电真空器件中直径微米数量级的小漏孔,空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞,这些就算你当时修理好了也是暂时性的,检漏时好像不漏,但经过抽气之后,又会出现漏气。

所以为了检查,一定要仔细处理好检漏部位,尽量不用手去摸被检测区域,避免尘埃或油脂堵塞漏孔。

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